多孔硅薄膜的微结构及其XRD研究 (2014年)

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文件名称：多孔硅薄膜的微结构及其XRD研究 (2014年)
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更新时间：2021-05-16 06:00:07
自然科学 论文 使用扫描电子显微镜、原子力显微镜和X射线衍射研究了多孔硅薄膜的微结构. SEM图像显示: 多孔硅膜表面的微结构比较均匀；沿纵向方向薄膜内部空腔呈流线型分布；孔和孔之间的间距为10～20 nm. AFM形貌表明: 其表面在1×1 μm范围内的均方根粗糙度为4.75 nm. XRD结果说明: 多孔硅薄膜晶体晶格常数随深度增加而变大，多孔硅薄膜孔壁上Si-H键的比例将减少.