文件名称：聚合物光栅光波导器件的微复制技术* (2010年)
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更新时间：2024-05-30 18:33:44
工程技术 论文
采用纳米压印微复制技术方法，研制了一种新型的聚合物柔性光栅光波导敏感器件，该器件可用于介入式医用导管的微弯挠曲监测或类似场合的微变形监测。重点阐述了聚合物柔性光栅光波导器件的微复制模具和器件微复制的工艺方法，并对制备工艺技术的关键技术问题时行了讨论，讨论了测试光纤耦合一体化光栅波导器件的工艺方法。最后利用硅微模具和紫外固定介质材料，成功制备出了截面尺寸为4μmx20μm、光栅周期为0.75μm的聚合物柔性光栅光波导器件。