（英文）溅射原理和应用.ppt

【文件属性】：
文件名称：（英文）溅射原理和应用.ppt
文件大小：7.66MB
文件格式：PPT
更新时间：2022-06-11 03:13:04
优质 所谓溅射，就是这充满腔室的工艺气体在高电压的作用下，形成气体等离子体（辉光放电），其中的阳离子在电场力作用下高速向靶材冲击，阳离子和靶材进行能量交换，使靶材原子获得足够的能量从靶材表面逸出（其中逸出的还可能包含靶材离子）。这一整个的动力学过程，就叫做溅射