文件名称：光学非球面检测平台伺服控制系统研究 (2007年)
文件大小：389KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-06-10 07:47:02
工程技术 论文
根据高精度非球面表面检测的要求，设计了一种用于微纳精度测量的光学非球面检测平台伺服控制系统。系统基于DSP芯片控制技术，采用Ti公司生产的TMS32oF2812芯片为运动控制电路的核心；基于Windows操作平台和CCS2.0集成开发工具进行软件开发。系统设计的目的是实现平台的多轴运动控制及伺服运动控制系统的软硬件模块的扩展。通过试验和运动仿真对系统的稳定性和精度进行了分析，分析结果表明系统达到了较高的定位控制精度。