文件名称：激光扫描技术在小尺寸测量方面的应用 (1982年)
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更新时间：2024-07-04 13:10:22
工程技术 论文
本文根据激光光源相干性能,使激光束垂直投射到物面上凸、凹不平及刻线处将产生衍射现象的原理,对物面上这种标记的位置尺寸进行精确测量。文中介绍了测量装置的三个组成部分:激光扫描系统,信号检测系统和时准观察系统,并着重介绍了对正常反射的光信号和衍射时的零频光信号截止的空间滤波器以及F-Q透镜在测量系统中的作用。最后还分别对影响精度的五种因素作了详细的分析,证明这种方法对测量小尺寸能获得良好的效果。