文件名称:论文研究-一种提高流片效率的亚分辨率辅助图形OPC方法 .pdf
文件大小:676KB
文件格式:PDF
更新时间:2022-09-11 16:29:56
混合亚分辨率辅助图形添加方法
一种提高流片效率的亚分辨率辅助图形OPC方法,陈翰,段力,随着集成电路制造的关键尺寸不断减小,光刻工艺窗口的大小成为了决定大规模量产产品可靠性和稳定性的重要指标。在65nm及以下先进工�
文件名称:论文研究-一种提高流片效率的亚分辨率辅助图形OPC方法 .pdf
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更新时间:2022-09-11 16:29:56
混合亚分辨率辅助图形添加方法
一种提高流片效率的亚分辨率辅助图形OPC方法,陈翰,段力,随着集成电路制造的关键尺寸不断减小,光刻工艺窗口的大小成为了决定大规模量产产品可靠性和稳定性的重要指标。在65nm及以下先进工�