文件名称：面向三维实体建模的MEMS设计方法* (2011年)
文件大小：274KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-05-16 22:19:31
工程技术 论文
根据“所见即所得”的设计理念，提出了一种而向三维实体建模的MEMs设计方法，实现了从三维实体到系统级模型或工艺版图的设计流程，使设计者可以首先直接建立器件的三维实体模型，存完成有限元分析后，可以通过组件映射和宏模型提取的方式获得系统级模型，再通过自动版图转换得到相应的工艺版图。此设计方法可以提高设计效率，并且保证了模型数据在各个设计层级之间传递时的一致性和精确性。