文件名称：纳米氧化锌掺铝薄膜的微观结构研究* (2013年)
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更新时间：2024-06-07 01:40:12
工程技术 论文
采用溶胶-凝胶(sol-gel)法在玻璃衬底上制备了纳米ZnO掺铝薄膜．利用X射线衍射仪(XRD)和透射电镜(TEM)对薄膜的微观结构进行了系统的研究。结果表明，所有在玻璃衬底上生长的ZnO薄膜均具有c轴择优取向。掺杂量为2％(原子分数)时，Al在ZnO薄膜中达到最高水平。过量Al掺杂明显减弱薄膜的c轴择优取向。随着Al掺杂量的增加，ZnO晶粒进一步细化。其原因是未进入ZnO晶格的Al以非晶Al2O3的形式在ZnO晶界上形成了对晶界运动的钉扎，从而阻碍了ZnO晶粒进一步长大。