Fourier变换轮廓术中采用Gerchberg叠代消除边缘误差 (2002年)

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文件名称：Fourier变换轮廓术中采用Gerchberg叠代消除边缘误差 (2002年)

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更新时间：2024-05-29 03:08:23

自然科学 论文

运用Gerehberg叠代方法，对采集的不满场条纹进行外插处理，直到变形条纹的傅里叶频谱的能量集中在正负一基频周围，消除两基频的相互混叠.计算机模拟证实，采用以上方法可以提高FIP的测量精度.