文件名称：失调误差校正
文件大小：1.3MB
文件格式：PDF
更新时间：2017-01-20 12:57:48
失调误差校正 检测波前
失调误差校正一直是非球面非零位检测的一个难题，其中区分高阶失调误差尤其不易。传统方法通过从检测所得波前结果中直接去除前四项泽尼克系数进行校正，这是不准确的。计算机辅助装调是一种有效的装调方法，但是需要借助机械或人力辅助完成，实用性受到影响。文章提出了一种基于系统建模的实用且精确的失调误差校正方法。从实验测得波前的五个低阶像差中计算得到实际失调误差，并将此误差建入系统模型，通过光线追迹可以得到其他所有的失调像差，这些像差通过一个简单的波前相减就可以得到去除。这一方法既不需要精确的机械调整，也不需要繁琐的人为调整。实验结果表明了所提方法的可行性和良好的重复性。