文件名称：MEMS微型热敏传感器数值模拟 (2011年)
文件大小：263KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-06-15 11:47:02
自然科学 论文
借助计算流体动力学软件Fluent．采用有限体积法、非定常N-S方程、Realizable k-ε湍流模型及无滑移壁面边界条件对微电子机械系统(MEMS)微型热敏传感器进行三维数值模拟．全面地分析了传感器绝缘层材料、空腔内介质材料以及结构尺寸参数对其灵敏度的影响情况，探讨了提高传感器灵敏度的方法．同时，设计了一款高灵敏度的MEMS微型热敏传感器．数值模拟结果发现，采用具有较低热导率的结构材料及工作气体，隔热效果最佳；合理优化传感器尺寸参数有助于获得较高的灵敏度．该结果对微型热敏传感器的优化设计和实际加工、