约瑟夫森隧道结制作工艺的研究 (1976年)

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文件名称：约瑟夫森隧道结制作工艺的研究 (1976年)
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更新时间：2021-04-25 02:12:11
自然科学 论文 本文研究了用热氧化法制作约瑟夫森隧道结工艺过程中氧气压力、湿度、氧化时间对隧道结性能的影响。在我们所使用的氧气压力２×１０－２乇―４００乇及氧化时间２分钟―１００分钟的范围内都可以得到典型的约瑟夫森隧道结，但氧气压力和氧化时间对临界电流及结的其他参量有明显影响。约瑟夫森器件已有许多应用。而制结工艺是实际应用中首先要解决的问题，由于要的势叠层很薄（１０Ａ―３０Ａ），实际制作有很多困难。我们用热氧化法形成势叠，得到了较好的成品率。