一种可同时测量位移和角度的电容式传感器设计.pdf

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文件名称：一种可同时测量位移和角度的电容式传感器设计.pdf

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更新时间：2023-01-19 17:59:06

电容式传感器设计

提出了一种可同时测量位移和角度的变面积式差动电容传感器的设计方案。通过在结构上采用介质差 动法, 该传感器克服了边缘效应的影响, 具有测量范围宽、线性度良好、受温度影响小等优点