功率半导体器件，功率器件集成工艺

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文件名称：功率半导体器件，功率器件集成工艺
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文件格式：PDF
更新时间：2022-01-26 09:47:29
功率半导体 工艺整合 MOSFET IGBT GAN 功率半导体技术是半导体领域的重要研究内容之一,主要应用于现代电子系统的功率处理单元,是当今消费类电子、工业控制和国防装备等领域中的关键技术之一.本文概要介绍了功率半导体器件与集成技术的特点和应用范围,阐述了功率半导体器件与集成技术的发展现状和趋势,给出了未来技术发展路线图,最后梳理了未来技术发展的若干问题.