文件名称：磁导调制型时栅位移传感器测量方法研究 (2014年)
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更新时间：2024-07-01 22:25:36
工程技术 论文
时栅位移传感器采用时空坐标转换理论，可在低加工精度条件下实现角位移的高精度测量，现已应用于高精度数控转台控制系统中， 原有的场式时栅位移传感器借鉴电机结构，通过转子线圈感应旋转磁场产生电行波，再通过滑环引出， 为了消除滑环结构，进一步降低成本、提高传感器抗干扰能力，通过磁导调制方法产生两路驻波并合成电行波，采用两路驻波磁路分离式结构，设计去除转子绕线的磁导调制型时栅位移传感器， 利用电磁仿真软件对传感器的各项参数进行仿真优化，传感器仿真电行波幅值变化6.1%，采用光栅进行精度标定实验，测量精度达到，2.7