文件名称：基于GaAs MMIC技术的残余应力测试结构的模拟与设计* (2012年)
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更新时间：2024-05-15 12:09:00
工程技术 论文
残余应力对开关梁的力学特性有着重要的影响。梁的弹性系数k由梁的形状和材料特性(杨氏模量和残余应力)来决定。应力梯度会使悬臂梁发生卷曲，对k也会产生影响。由残余应力引起的梁的长度变化量在微米级别，一般实验仪器难于测量。基于GaAs基和si基的器件残余应力不同，相应的测试结构需重新设计。为了克服这些问题，本论文重新模拟并优化了微旋转式残余应变测试结构，尽量简化对测试仪器的要求。本文使用Intellisuite仿真软件以及Matlab软件优化，同时采用对称式的结构增加了测试精度。最后本文还给出了应力梯度的测试方