谐振法确定热激励微梁谐振器厚度及残余应变 (2003年)

【文件属性】：

文件名称：谐振法确定热激励微梁谐振器厚度及残余应变 (2003年)

文件大小：293KB

文件格式：PDF

更新时间：2024-05-30 04:09:42

工程技术 论文

精确测量热激励微梁（悬臂梁和桥）谐振器的厚度和残余应变对研究其谐振特性具有重要意义。由于组成谐振器的薄膜厚度远小于占优层厚度，本文首先利用单层梁谐振频率推算得梁的厚度的近似值，从而得到热激励梁的等效杨氏模量和等效密度。在此基础上利用双层梁谐振频率精确推算梁的厚度和残余应变，结果与测量值符合较好。该方法具有非破坏性的优点。