非晶硅热导率.pdf

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文件名称：非晶硅热导率.pdf

文件大小：215KB

文件格式：PDF

更新时间：2022-09-25 13:21:58

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采用铂电极为加热电阻，研究了厚度为 等离子体化学气相沉积工艺制备的氢化非晶硅薄膜的热导率随衬底温度的变化规律用光谱式椭偏