非晶硅热导率.pdf 时间:2022-09-25 13:21:58 【文件属性】: 文件名称:非晶硅热导率.pdf 文件大小:215KB 文件格式:PDF 更新时间:2022-09-25 13:21:58 LabVIEW 采用铂电极为加热电阻,研究了厚度为 等离子体化学气相沉积工艺制备的氢化非晶硅薄膜的热导率随衬底温度的变化规律用光谱式椭偏 立即下载