文件名称：N2/H2辉光放电等离子体电子碰撞电离的Monte Carlo模拟 (2007年)
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更新时间：2024-06-10 16:42:30
自然科学 论文
采用N2/H2直流辉光放电等离子体综合的Monte Carlo模型，通过计算N2/H2混合气体直流辉光放电等离子体电子碰撞电离及离解电离率，电子密度及电子能量分布函数，研究了H2的浓度对氮辉光放电等离子体电子碰撞电离过程的影响.研究结果表明：随着H2浓度的升高，电子的电离及离解电离碰撞率减少；但在一定的放电条件下，加入少量的H2，可以提高电子碰撞电离及离解电离率，即选取合适的放电参数，加入少量的氢，可以提高放电空间的电子及离子的密度。模型考虑了12种和电子相关的反应，在氮气中加氢的比例为0～30%。这些影