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文件名称：倾斜梳齿的MEMS电容式加速度传感器自我标定特性研究* (2013年)
文件大小：492KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-04-27 06:09:21
工程技术 论文
研究MEMS电容式加速度传感器的自我标定方法，模拟机械振动台标定，提高标定效率和降低标定成本，并从理论上分析了DRIE工艺误差对传感器自我标定精度的影响。分析的传感器模型梳齿间距为4μm，厚度80 μm，传感器自我标定以模拟幅值为1 g的振动台标定为例，针对DRIE工艺加工的高深宽比梳齿电容存在正负侧壁倾斜角α的情况，分析了该倾斜角对梳齿式传感器自我标定的影响。分析结果表明：传感器工作在开环电路时，梳齿的倾斜对传感器自我标定影响明显，且随着倾斜角度的增大而增大。与梳齿完全平行时传感器的自我标定相比，倾斜角