倾斜梳齿的MEMS电容式加速度传感器自我标定特性研究* (2013年)

时间:2024-05-16 23:56:01
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文件名称:倾斜梳齿的MEMS电容式加速度传感器自我标定特性研究* (2013年)

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更新时间:2024-05-16 23:56:01

工程技术 论文

研究MEMS电容式加速度传感器的自我标定方法,模拟机械振动台标定,提高标定效率和降低标定成本,并从理论上分析了DRIE工艺误差对传感器自我标定精度的影响。分析的传感器模型梳齿间距为4μm,厚度80 μm,传感器自我标定以模拟幅值为1 g的振动台标定为例,针对DRIE工艺加工的高深宽比梳齿电容存在正负侧壁倾斜角α的情况,分析了该倾斜角对梳齿式传感器自我标定的影响。分析结果表明:传感器工作在开环电路时,梳齿的倾斜对传感器自我标定影响明显,且随着倾斜角度的增大而增大。与梳齿完全平行时传感器的自我标定相比,倾斜角


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