适于在线测量的激光位移传感器.pdf

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文件名称：适于在线测量的激光位移传感器.pdf
文件大小：364KB
文件格式：PDF
更新时间：2023-01-19 17:57:28
激光位移传感器 绍一种新的共光轴激光非接触位移传感器,具有克服安装倾斜、表面纹理变化不利影响的特点;利 用光学球差光学平均改善光斑分布均匀性;其微小的光触针( <1μm) 以及高速绝对测量的优点适合于曲(线) 面的快速测量以及在线测量