论文研究-压电驱动行波微泵的仿真与测试 .pdf

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文件名称：论文研究-压电驱动行波微泵的仿真与测试 .pdf

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更新时间：2022-09-06 01:21:48

微电子学

压电驱动行波微泵的仿真与测试，刘国华，张维，微泵是微流体芯片发展水平的重要标志，为提高微泵的工作性能，本文提出了一种新型压电驱动的行波微泵。在设计了不同的微管道结构