文件名称:准同型相界钛酸铋钠基无铅铁电薄膜的制备及其性能研究 (2012年)
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更新时间:2024-06-10 14:57:21
自然科学 论文
发展环境友好的传感器、存贮器及换能器用铁电与压电薄膜是当前的研究热点之一.采用脉冲激光沉积(PLD)的方法,通过优化制备工艺,引入La0.6Sr0.4CoO3( LSCO)作为缓冲层,在Pt/Ti/SiO2 /Si衬底上制备了准同型相界组分掺杂微量Mn元素的Bi0.5Na0.5TiO3 - BaTiO334薄膜,并对其相结构、微观形貌、铁电、介电等性能进行了研究.结果表明:该薄膜具有纯钙钛矿结构,结构致密,显示出良好的电性能,其中剩余极化可达到1.15×10 -1C・m-2, 1 kHz下薄膜的相对介电常