扫描投影光刻机的光学系统设计 (1982年)

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文件名称：扫描投影光刻机的光学系统设计 (1982年)

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更新时间：2024-05-13 18:32:02

工程技术 论文

本文介绍的扫描投影光刻机光学系统,包括:两个同心球面镜组成的环带视场投影系统、三个相互垂直平面镜构成的正象反光镜组、全反射式高质量装光系统和连续变倍观察瞄准系统四部分。对各部分,文中不仅有理论计算和象差分析的描述,同时还给出设计结果和介绍了有关的计算程序。