文件名称：论文研究-DRT MC SOI LIGBT器件新结构的可实现性初探 .pdf
文件大小：281KB
文件格式：PDF
更新时间：2022-09-04 06:13:43
SOI
DRT MC SOI LIGBT器件新结构的可实现性初探，张海鹏，邱晓军，本文在介绍了减薄漂移区多沟道SOI LIGBT结构雏形之后，首先初步探讨了这种器件的先进VLSI工艺可实现性；然后比较深入讨论了减薄漂移��
论文研究-DRT MC SOI LIGBT器件新结构的可实现性初探 .pdf
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