文件名称：基于PSD的导轨直线度测量 (2009年)
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更新时间：2024-06-04 10:14:53
自然科学 论文
设计了2种检测系统测量直线导轨的直线度。检测系统 1利用随导轨运动的平面镜二维转角表征导轨的俯仰角和偏摆角的误差,这些角度误差通过光学系统在 PSD上以位移的形式被记录下来,分析计算位移与角度的关系可得俯仰角和偏摆角。检测系统2利用随导轨运动的棱镜系统将俯仰角和滚转角的误差以位移的形式记录在 PSD上,通过去除检测系统 1测得的俯仰角的影响可求得滚转角。实验测量了 500 mm长导轨俯仰角、偏摆角和滚转角的最大偏差分别为3.22′,1.16′和5.88′。分析了实验系统误差对于测试结果的影响,结果表明,测