非对称双极脉冲磁控溅射沉积氮化铬铝涂层的微观结构和硬度.pdf

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更新时间：2024-08-16 05:04:36

磁控溅射

非对称双极脉冲磁控溅射沉积氮化铬铝涂层的微观结构和硬度