VLSI失效分析技术研究进展

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文件名称：VLSI失效分析技术研究进展

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更新时间：2012-09-02 03:51:35

大规模集成电路；失效分析；样品制备技术

根据近年来的实践．介绍r亚微米，深亚微米多层布线结构的VLSI的失效分析的关键技术和加快失效分析程序的方法 包括：先进的芯片剥层技术和局部剖切面技术、以失效分析为目的的电测试技术和故障定位技术及其简化方法。通过一些失效分析实例说明了研究上述关键技术的有效性。