文件名称：基于PC平台的高精度激光微加工系统的研制
文件大小：840KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-10-01 09:09:54
lasercontrol
介绍了自主设计高精度皮秒激光微加工系统及其控制单元。首先在加工系统整体方案的设计上充分考虑了激光器 的选择、光束质量、控制方式等对加工精度的影响。将高斯光束转化为平顶光束引入激光微加工。其次使用了一种位置比较 脉冲的光机同步技术，使得激光脉冲在空间上均匀分布，改善了加工效果。最后在系统中加入了路径规划、实时监测及同步 显示等功能，实现系统加工线宽达到3. 64 μm，绝对定位精度小于1 μm 的激光微加工