文件名称：一种用于MEMS陀螺的高精度电容读出电路的设计* (2010年)
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更新时间：2024-05-30 18:31:36
工程技术 论文
针对电容式MEMS陀螺，设计了一种高精度CMOS接口读出电路。从理论上分析了接口寄生电容、器件的不匹配对接口电路的影响，采用连续时间电压读出方式的检测方法，设计了一款带有输入输出共模反馈的低噪声全差分电荷运算放大器，输入输出共模电压稳定在2.5 V，输人端的噪声电压为9 nV。载波调制技术用来消除低频闪烁噪声。在Cadence中对设计的接口电路进行仿真分析，并采用PCB电路板进行了实验。结果显示所提出的接口电路不仅消除了大部分寄生电容的影响，抑制了大部分的耦合信号和噪声信号，而且减小了由于器件的不匹配产生