镓聚焦离子束研磨 Cu薄膜的模拟 (2009年) 时间:2021-05-18 03:11:21 【文件属性】: 文件名称:镓聚焦离子束研磨 Cu薄膜的模拟 (2009年) 文件大小:445KB 文件格式:PDF 更新时间:2021-05-18 03:11:21 自然科学 论文 利用 TRIM模拟中的蒙特卡罗方法计算了镓( Gallium)离子在 Cu薄膜上的溅射产额。分析 溅射产额对镓离子的数量、入射离子的能量和离子入射角度的依赖关系。 立即下载