论文研究-功率稳定激光光源在光读出式非制冷红外成像系统中的应用 .pdf

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文件名称：论文研究-功率稳定激光光源在光读出式非制冷红外成像系统中的应用 .pdf
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更新时间：2022-09-05 05:31:15
红外成像 功率稳定激光光源在光读出式非制冷红外成像系统中的应用，刘明，董立泉，光读出式红外焦平面阵列热成像技术，主要基于微悬臂梁在热辐射作用下发生形变的原理，然后以光学手段检测MEMS微悬臂梁阵列各单元��