Cr含量对掺铬类石墨膜的力学和摩擦学性能的影响 (2009年)

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文件名称：Cr含量对掺铬类石墨膜的力学和摩擦学性能的影响 (2009年)
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更新时间：2021-06-14 03:17:11
自然科学 论文 采用非平衡磁控溅射离子镀技术制备了一组不同Cr含量的掺铬类石墨非晶碳膜。测量了薄膜的硬度、内应力以及干摩擦条件下的摩擦系数和比磨损率,利用X射线光电子能谱(XPS)和扫描电子显微术(SEM)分析了薄膜的成分和表面形貌。实验结果表明,掺铬类石墨膜的力学和摩擦学性能均强烈地受到薄膜Cr含量的影响。掺杂铬对类石墨膜具有显著的去应力和软化作用。适量铬的加入不仅能进一步改善这种非晶碳膜的磨擦学性能,而且也有助于降低它的表面粗糙度并提高其致密性。分析结果表明,掺铬类石墨膜的力学和摩擦学性能随着Cr含量增大的变化趋势与