文件名称：自对准法制备Nb/AlOx /Nb超导Josephson结及其直流特性测试 (2012年)
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更新时间：2024-05-30 13:23:16
自然科学 论文
超导量子比特系统是实现大规模量子计算的可行方案之一。该文采用集成电路平面工艺制备了基于Nb/ AlOx/Nb3层膜结构的超导Josephson结，为制备性能可靠的超导量子比特提供了一定基础。工艺中采用了自对准技术形成结区，从而有效地保护器件结构并降低了工艺复杂度。搭建了超导Josephson结直流特性低温测试系统，并对制备的Josephson结进行了直流特性测试，得到Josephson结在不同温度下的伏安特性，并观察到铌(Nb)的超导能隙电压2.85mV的跳变。同时，测量得到Josephson结临界电流随