蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺研究.pdf

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文件名称：蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺研究.pdf

文件大小：352KB

文件格式：PDF

更新时间：2022-09-25 12:36:41

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对蓝宝石衬底片的化学机械抛光进行了研究。系统地分析了蓝宝石抛光工艺过程的性能参数, 通过大量实验, 总结出了其影响因素并提出