论文研究-新型共振隧穿薄膜微加速度计的研究 .pdf

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文件名称：论文研究-新型共振隧穿薄膜微加速度计的研究 .pdf

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更新时间：2022-09-05 03:36:44

加速度计;共振隧穿薄膜;双空气桥工艺;控制孔工艺

新型共振隧穿薄膜微加速度计的研究，张文栋，胡杰，本文研究了一种新型的GaAs基压阻式共振隧穿微加速度计结构,该微加速度计的压敏元件采用AlAs/In0.1Ga0.9As双势垒共振隧穿纳米薄膜结构. 加