【文件属性】:
文件名称:MEMS 的多物理场仿真(COMSOL)
文件大小:8.55MB
文件格式:ZIP
更新时间:2021-01-19 22:26:16
COMSOL MEMS 微机电系统 多物理场仿真 有限元
• MEMS 模块概述
• 静电和力学接口功能特点和建模方法
– 静电接口及其域和边界条件 – 固体力学分析类型及边界条件、阻尼等
• 机电接口建模方法
– 机电原理 – 机电的结构力学和电气特征 – 机电求解类型和求解技巧
• 压电效应
– 压电效应简介和压电耦合方程 – 压电建模的要素和技巧 – 压电材料方向设置
• 其它 MEMS 多物理场耦合
– 热应力和热膨胀 – 热弹性和热粘性声学 – 压阻效应 – 流固耦合
【文件预览】:
MEMS 的多物理场仿真-讲义2.pdf
MEMS 的多物理场仿真-讲义3.pdf
MEMS 的多物理场仿真-讲义4.pdf
MEMS 的多物理场仿真-讲义1.pdf