碳化硅( SiC) 器件制造工艺中的干法刻蚀技术 时间:2020-12-30 10:44:29 【文件属性】: 文件名称:碳化硅( SiC) 器件制造工艺中的干法刻蚀技术 文件大小:215KB 文件格式:DOCX 更新时间:2020-12-30 10:44:29 硅片 摘要:简述了在SiC材料半导体器件制造工艺中,对SiC材料采用干法刻蚀工艺的必要性.总结了近年来SiC干法刻蚀技术的工艺发展状况. 立即下载