文件名称：铜铟镓硒薄膜的四元叠层法制备与表征 (2012年)
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更新时间：2024-06-25 05:03:02
工程技术 论文
采用热蒸发沉积Ga、离子束溅射沉积Cu、In和Se，在BK7玻璃上形成Ga/Gu/In/Se四元叠层，在同一高真空环境下对四元叠层进行退火热处理，制备得到铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池吸收层材料CIGS薄膜．通过X射线衍射仪、能谱仪、扫描电子显微镜、分光光度计及四探针，测量材料的结构、组分、形貌以及光电特性．结果表明，通过精确控制热蒸发蒸镀Ga膜料的时间，实现在CulnSe2(CIS)薄膜上掺杂Ga元素，制备的CIGS薄膜均呈黄铜矿结构，当Ga的原子数分数x(Ga)=3.96％～9.26％时，衍射峰较强