文件名称：双激光生物芯片分析仪扫描物镜设计 (2005年)
文件大小：1.77MB
文件格式：PDF
更新时间：2024-05-16 03:47:17
工程技术 论文
描述了一种用于生物芯片分析仪的像方远心f-theta扫描物镜。通过对物镜像差参数要求的分析，选择初始结构，利用ZEMAX进行了光学系统的优化，给出了数值孔径0.17，焦距40mm，总长140mm的f-theta物镜设计结果的光路图和芯片荧光测试实验结果。f-theta物镜用于生物芯片分析的扫描系统在100lp/mm的调制传递函数（MTF）在0.35以上，f-theta畸变量控制在0.13%以内，在整个视场内具有高荧光激发和收集效率，分辨率可以达到10μm，一块芯片的测试时间可以在200s以下。