光学显微三维测量解耦合准则

【文件属性】：

文件名称：光学显微三维测量解耦合准则

文件大小：5.92MB

文件格式：PDF

更新时间：2021-09-09 03:52:35

光学显微 台阶测量

光学显微三维测量耦合效应是指沟槽或台阶样品高度测量准确性受横向周期影响产生原理误差的现象。采用卷积不相关原则和有限能量损失原则，分别建立了薄样品和深沟槽样品光学显微三维测量的解耦合模型，揭示了被测样品特征参数与光学仪器表征能力之间的关联关系。