制备高亮度 LED的等离子刻蚀技术.pdf

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文件名称：制备高亮度 LED的等离子刻蚀技术.pdf

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更新时间：2022-09-25 11:38:51

LabVIEW

现在蓝宝石仍是生长HBLED结构的衬底选择。不过，采用蓝宝石生长也存在两个问题：蓝宝石没有完美的晶格匹配，光提取会因为有两个