文件名称：论文研究-基于概率密度PCA的多模态过程故障检测.pdf
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文件格式：PDF
更新时间：2022-08-11 14:56:29
多模态过程, 故障检测, 概率密度, 主元分析, 匹配系数
为了提高故障检测和分类能力，提出基于概率密度PCA的多模态过程故障检测算法。对各模态的训练数据建立PCA模型，计算各个模型的控制限和匹配系数。根据匹配系数计算各模态统一的控制限。对新来的数据，运用概率密度确定其模态。新来数据向对应模态的模型上投影并计算统一的统计量，比较统计量与控制限进行多模态过程故障检测。把该方法应用到数值例子和半导体过程中，仿真结果表明，该算法在分类及多模态过程故障检测方面具有很高的准确性。