激光干涉仪工作原理.pdf

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文件名称：激光干涉仪工作原理.pdf

文件大小：258KB

文件格式：PDF

更新时间：2022-09-25 14:14:05

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干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在