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文件名称：高气压均匀直流辉光放电等离子体的光学特性* (2015年)
文件大小：323KB
文件格式：PDF
更新时间：2021-04-24 03:22:40
自然科学 论文
在高气压(大于100 Torr, 1 Torr=1.33322 × 102 Pa)平板位形的均匀直流辉光放电中,一定条件下观察到平行排列的明暗相间的等离子体辉纹. 结合等离子体的光发射谱诊断, 研究了气体组分对等离子体光学特性的影响. 研究发现,随着甲烷浓度的增加,辉纹间距减小,相应的电子激发温度降低. 当甲烷浓度增加时,等离子体中低电离能的粒种增加,粒子平均电离能减小,这种情况下,电子被电场加速较短的距离所获得的能量就可以激发粒子, 产生可见的光发射, 表现为辉纹间距缩短. 随着氩气的引入, 能够观察到