热超声键合换能系统阻抗/导纳模型* (2007年)

时间:2024-05-11 20:17:05
【文件属性】:

文件名称:热超声键合换能系统阻抗/导纳模型* (2007年)

文件大小:52KB

文件格式:PDF

更新时间:2024-05-11 20:17:05

工程技术 论文

采用等效电路方法建立换能系统的阻抗/导纳集总参数模型,包含各子部分的材料特性、尺寸、系统损耗因子、谐振频率、激励电信号以及不同负载下系统阻抗和导纳等动力学特性。以无键合工具与有键合工具两种不同负载为例计算得到,在100 kHz范围内系统包含4阶轴向谐振频率;相比于无键合工具条件,有键合工具负载条件下的各阶谐振频率增大,其电阻值增大,电导值降低。阻抗分析仪试验与有限元分析结果均验证系统阻抗/导纳模型的正确性。


网友评论