文件名称：基于聚吡咯微电极的MEMS微型超级电容器的研究* (2011年)
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更新时间：2024-06-04 01:19:08
工程技术 论文
MEMS微能源是指采用微加工技术制作实现能量的获取与转换、存储与释放的微纳器件与系统，而微型超级电容器则是一种基于电化学电容实现储能的微型能量存储器件，可作为能量存储单元在MEMS微电源系统中获得应用。设计制作了一种具有两腔并排式结构的微型聚吡咯超级电容器。该微型超级电容器由微结构，微电极功能薄膜以及酸性电解液构成，其微结构是基于ICP刻蚀等微加工工艺加工实现的，而微电极功能薄膜是通过电化学沉积工艺在集流体表面沉积聚吡咯功能薄膜制备而成的。测试结果表明上述微型超级电容具有6.6mF/cm2。的比容量，其能