文件名称：使用红外干涉仪测量锗材料折射率均匀性
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更新时间：2012-07-13 15:09:29
测量与计量;红外材料;折射率;均匀性
介绍了运用工作波长为1016μm 的红外干涉仪测试红外光学材料(锗晶体) 的折射率均匀性的方法. 运用传 统的干涉法检验光学材料的折射率均匀性时,由于锗晶体太软,表面不易加工,其表面面形难以满足测试要求. 为 了消除面形偏差对折射率均匀性偏差测试的影响,使用可见光移相式数字平面干涉仪精确测试被测样品的面形偏 差,该干涉仪具有很高的测试精度,其测量不确定度可以达到λ/ 50 ( λ = 01633μm) . 然后在红外干涉图数据处理中将样品的面形偏差扣除,得到样品折射率的偏差分布. 对锗单晶材料进行了实际测试