大气压氩气微波等离子体参数的光谱诊断 (2009年)

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文件名称：大气压氩气微波等离子体参数的光谱诊断 (2009年)
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更新时间：2021-04-23 06:08:17
自然科学 论文 为了深入了解大气压下氩气微波等离子射流内部电子的状态,利用发射光谱法对大气压下氩气 微波等离子体进行了诊断 。以玻尔兹曼斜率法对等离子体中电子激发温度进行测算,以斯塔克展宽计算电子 密度 。研究了等离子体射流方向上不同区域电子激发温度和电子密度的分布规律及微波功率对电子激发温 度和电子密度的影响 。结果表明,在本实验条件下等离子体射流电子激发温度为4000～6 000 K,电子数量 密度为(2 .4～2 .8)×1018 cm-3,电子激发温度和电子密度的最大值均出现在距波导管底边20 mm处,并以 此处