AZO溅射靶材的热压制备 (2011年)

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文件名称：AZO溅射靶材的热压制备 (2011年)
文件大小：274KB
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更新时间：2021-04-27 20:03:27
工程技术 论文 按质量比92:2将 ZnO和 Al2O3粉末采用热压方法制备 AZO溅射靶材。研究温度、压力、保温和保压时 间等热压工艺条件对靶材相对密度的影响,研究致密化过程中的气孔演化和相结构变化。结果表明:采用分段热 压方式,即在压力35 MPa下,在温度1 050 °C和1 150 °C分别保温保压1 h,所制备的 AZO靶材具有最大的相 对密度99%。在温度为1 050 °C时,靶材中的闭合气孔率最低;当热压温度低于900 °C时,靶材中存在 Al2O3 相;当温度升高到1 000 °C以后,Al2O3相消失,